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產品簡介
庫賽姆(COXEM) SPT-20離子濺射儀
品牌:Coxem
型號:SPT-20
該產品自動真空控制,條件設置簡單,可以實現快速抽真空(<2min),對樣品進行鍍膜處理,完成鍍膜后可以自動卸載真空。同時,樣品高度的調節也十分方便。
技術指標
1、電源:AC 220V,500W
2、重量:10kg
3、尺寸:420(W)x220(D)x230(H)mm
4、機械泵:50L/min(60Hz),AC 220V,150W,14.5kg
5、靶的尺寸:直徑50.8mm
6、真空度:約0.1torr
7、**低電壓:~3kv
離子流控制范圍:1~9mA
特點:
1全自動數字離子濺射鍍膜機
2 可一鍵進行離濺射鍍膜,完成鍍膜后可自動卸載真空
3具有涂層電流反饋功能的穩定涂層
4可用于Au, Pt, Pd, Pt-Pd各種金屬靶
5采用低噪音旋轉泵
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